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离子束加工是在真空条件下，将由离子源产生的离子经过电场加速，获得具有速度的离子投射到材料表面，是一种对材料进行成形和表面改性的加工方法。由于离子束加工应力、变形，适合于各种材料的微细加工，并且加工。
相比于其他微细加工的方法，微细切削具有较高的加工精度、可加工材料丰富、加工柔性高、能加工复杂的三维立体结构等众多优点，与此同时，随着微细切削相关技术的研究和发展，微细切削已经成为小型零件制造的主要方法。
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